触針式段差膜厚計

メーカーKLA TENCOR

型式AS-500 (Alpha-Step 500)

年式

外寸W670 D1000 H1400

展示場九州テクニカルセンター

価格入札会出品中

ASK管理No.O51151

機械仕様スキャンレンジ:10mm
スキャンスピード:2~200μm/s
カメラ:70~210x スタイラスレンジ:1~99.9mg
サンプルサイズ(Max):158×158mm ステージ回転:180°
入力電源:単相100V 50/60Hz 前扉ヒンジ割れ

添付ファイル 動作チェックシート

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