メーカーカナメックス

型式KC-S150NV2

年式

外寸W850D1350H1900

展示場九州テクニカルセンター

価格2,310,000円(税込)

ASK管理No.O51152

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機械仕様ウエハサイズ：φ2/φ4
厚さ：200～500μm
カップ口径：350mm
ACサーボモーター：400w
回転速度：0～2000rpm
接続径：純水16A,N2・エア3/8,ドレン25A,排気100A
電源：3相220V 60Hz 20A

添付ファイル