スクラブ洗浄装置
メーカーカナメックス
型式KC-S150NV2
年式
外寸W850D1350H1900
展示場九州テクニカルセンター
価格2,310,000円(税込)
ASK管理No.O51152
機械仕様ウエハサイズ:φ2/φ4
厚さ:200~500μm
カップ口径:350mm
ACサーボモーター:400w
回転速度:0~2000rpm
接続径:純水16A,N2・エア3/8,ドレン25A,排気100A
電源:3相220V 60Hz 20A
添付ファイル
![](https://askindex.co.jp/stocks/uploads/O5/O51152/IMG_1730.jpg)
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