メーカーカナメックス

型式KC-S150NV2

年式－

外寸W850 D1350 H1900

展示場九州テクニカルセンター

価格入札会出品中

ASK管理No.O51152

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機械仕様ウエハサイズ:φ2/φ4 インチ
厚さ:200～500μm カップ口径:350mm
ACサーボモーター:400W 回転速度:0～2000rpm
接続径:純水16A,N2・エア3/8 ドレン25A 排気100A
入力電源:三相220V 60Hz 20A

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