プラズマ装置

メーカーモリエンジニアリング

型式PB-600

年式1999.10

外寸W850 D900 H1650

展示場九州テクニカルセンター

価格入札会出品中

ASK管理No.O51164

機械仕様石英チャンバー寸法:φ200×L300mm
高周波発振器(SFA-600):出力600W
真空ポンプ:アルカテル2021
入力電源:三相200V/単相100V 50/60Hz

添付ファイル 動作チェックシート

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