蒸着装置

メーカーアルバック

型式EBX-8C

年式2003

外寸W1200D770 H1660

展示場九州テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.O51171

機械仕様3相:200V  50A/60Hz
EBガンEGL-35M
ホルダーサイズ:Φ280mm
基板サイズ1Φ55mm×15枚処理(3セット)
基板サイズ2Φ100mm×4枚処理(1セット)
基板サイズ3Φ125mm×3枚処理(3セット)
EB電源HP-1010F
クライオコンプレッサーC15R
ロータリーポンプD650DK
※装置名盤無
チラーの付属無し

添付ファイル 動作チェックシート

※ 以下の画像をクリックをすると拡大します