蒸着装置
メーカーアルバック
型式EBX-8C
年式2003
外寸W1200D770 H1660
展示場九州テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.O51171
機械仕様3相:200V 50A/60Hz
EBガンEGL-35M
ホルダーサイズ:Φ280mm
基板サイズ1Φ55mm×15枚処理(3セット)
基板サイズ2Φ100mm×4枚処理(1セット)
基板サイズ3Φ125mm×3枚処理(3セット)
EB電源HP-1010F
クライオコンプレッサーC15R
ロータリーポンプD650DK
※装置名盤無
チラーの付属無し
添付ファイル 動作チェックシート

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