ドライエッチング装置
メーカー昭和真空
型式SPE-2010
年式2015
外寸（本体）W1000 D1100 H1600
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.O51173
機械仕様電源：φ3 200V 16.7KVA 60Hz
冷却水：0.2Mpa 0.96㎥/h
空圧：0.5Mpa
RF電源：13.56MHz (Max500W）
MP：VG203VA /大阪真空（2.7x10 －3Pa以下 ）
基板サイズ：φ3インチ（オリフラ）
使用ガス：He、O2、CHF3
エッチング方式：反応性エッチング
添付ファイル
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