オートスピンコーター
メーカーエイブル(ミクロ技研)
型式NSC-220H
年式－
外寸W1400 D1400 H1700
展示場九州テクニカルセンター
価格入札会出品中
ASK管理No.O51224
機械仕様対応ワーク:3インチ カップ径:φ220mm 試料台:φ30mm
回転可能範囲:30～5000rpm
入力電源:三相200V 30kVA
【構成】HMDS塗布ユニット2基/ホットプレート1基
クーリングプレート1基
薬液ノズル:スイングノズル
薬液系統:5系統(レジストｘ2リンスｘ1HMDSx2)
ホットプレート:150×150×t20mm
排気設備別途必要(5系統)
薬液キャビネットサイズ:W1750 D300 H1000mm
キャスター重い
添付ファイル
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