オートスピンコーター
メーカーエイブル(ミクロ技研)
型式NSC-220H
年式
外寸WW1400D1400H1700
展示場九州テクニカルセンター
価格3,080,000円(税込)
ASK管理No.O51224
機械仕様対応ワーク：3インチ
【構成】
・HMDS塗布ユニット2基
・ホットプレート1基
・クーリングプレート1基
カップ径：φ220mm
試料台：φ30mm
回転可能範囲：30～5000rpm
薬液ノズル：スイングノズル
薬液系統：5系統(レジストｘ2リンスｘ1HMDSx2)
ホットプレート：150x150xt20
電源：3相200V 30KVA
排気設備別途必要(5系統)
薬液キャビネットサイズ：W1750D300H1000
キャスター重い
添付ファイル
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