メーカー光洋サーモ(ジェイテクトサーモ)

型式RLA-1208-N

年式

外寸W1600D1500H2100

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.O51225

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機械仕様ウエハーサイズ：φ100～200mm
常用温度：400～1200℃
処理枚数：枚葉
ウエハー搬送：手動
昇温レート：最大200℃/sec
電源：3相200V/1相100V 60Hz 67.2Kw
使用ガス：N2/O2/N2O/3%H2/N2
※仕様書無し

添付ファイル