メーカーアルバック

型式i-Sputter (ISP-4000-HC)

年式2006

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.O60273

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機械仕様３元同時成膜可能（アップスパッタ）
ターゲットサイズ 50.8mm
スパッタ用電源(RF電源、DC電源)
使用可能基板サイズ:最大φ100mm
基板加熱:最高800℃
油回転真空ポンプ×2台
電源:三相AC200V

添付ファイル 動作チェックシート