メーカーコスモ技研

型式PNC-300

年式2010

外寸W460 D930 H1345

展示場塩山テクニカルセンター

価格入札会出品中

ASK管理No.O60293

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機械仕様6～8インチウェーハ用
波長:300～450ｍｍ
窒素:0.5Mpa 20L/min
電源: 単相AC200V 50/60Hz

添付ファイル 動作チェックシート