電子顕微鏡(SEM)
メーカーキーエンス
型式VE-7800
年式2003
外寸W395 D760 H975
展示場塩山テクニカルセンター
価格968,000円(税込)
ASK管理No.O60447
機械仕様倍率:15～100000倍 分解能:30nm最大試料サイズ:φ64mm 試料ステージ:X=32mm、Y=32mm、Z=8～30mm、
回転=360°、傾斜=-10～90° 観察像:2次電子像/反射電子像
観察モード:高真空圧/低真空圧(3～260Pa)
電源:AC90-110V 50/60Hz
付属品:コントローラー(VE-C1)、油回転真空ポンプ(GLD-136)、ノートパソコン
添付ファイル 動作チェックシート
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