ウエットエッチング装置
メーカーカナメックス
型式GEB-100
年式－
外寸W2150 D1540 H2000
展示場塩山テクニカルセンター
価格2,530,000円(税込)
ASK管理No.O60577
機械仕様スピンドライヤー付属
本体材質:PVC 適応ウエハ:2インチ/3インチ
DHF槽(140×220×205mm) リン酸槽(160×230×205mm)
塩酸槽(160×230×205mm)水洗槽①(150×210×202mm)
入力電源:三相AC200V 60Hz 40A
水洗槽②(140x210x202mm)
添付ファイル
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