露光装置(マスクアライナー)
メーカーキャノン
型式MPA-500FAb
年式
外寸W1500 D1600 H2000
展示場九州テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.O60633
機械仕様フォトマスク:100mm(4")125mm(5")150mm(6")
ウエハーサイズ:3" 4" 5"
アライメントスコープ
対物10X 接眼10X 15X 変倍1X 2X 3X 低倍0.3X
実視野 30mm～100mm
3φ 200V 50/60Hz 5600VA
添付ファイル
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