スパッタ装置

メーカーアルバック

型式SH-550ーC12

年式2000

外寸W1950 D1300 H1800

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.O60686

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機械仕様カソードサイズ：Φ8in
基板ホルダー：Φ550
回転成膜可能

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