メーカーアルバック

型式SIH-450

年式

外寸W1700 D1750 H1850

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.O60687

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機械仕様基板ホルダー：φ450 2インチ角基板X8枚
加熱機構：Max250℃(ハロゲンランプ)
スパッタ室：W680 D740 H360
取り出し口：W920 D740 H260
基板加熱：3Kw
RF電源：1Kw＋3Kw
3φ200V 50Hz

添付ファイル