イオンミリング装置
メーカーアルバック
型式IML-580
年式
外寸W2200 D2000 H1900
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.O60688
機械仕様イオンビーム密度：最大 1.0mA/cm2
イオンビームエネルギー：300eV-1.000eV
パケット型 電極有効直径：約φ580
材料：モリブデン
【フィラメント】
イオン源用：タングステン(W)
ニュートラライザー用：タンタル(Ta)
加速電圧電流：1KVmax 2.68A
イオン種：アルゴン(Ar)
電極有効直径：約φ580
基板ホルダー：φ100X8枚(自公転ホルダ)
3φ200V ±10％ 50/60Hz
添付ファイル
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