メーカーアルバック

型式SH-450

年式1995

外寸W1900D1400H1800

展示場九州テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.O60881

在庫確認・お問合せ

機械仕様電源3相200V, 33.2 kvA
スパッタ方式:アップ ターゲット
寸法Φ152.4㎜×t6
基板取り付け枚数□4”,Φ4”
基板用サブホルダー合計5ケ/バッチ
基板電極Φ450㎜
水冷ターンテーブル
RF電源13.56MHz
出力2.0㎾
DC電源4㎾
MFC(Ar,N2,O2,H2)

添付ファイル 動作チェックシート