スパッタ装置
メーカーアルバック
型式SH-450
年式1995
外寸W1900D1400H1800
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.O60881
機械仕様電源3相200V, 33.2 kvA
スパッタ方式:アップ ターゲット
寸法Φ152.4㎜×t6
基板取り付け枚数□4”,Φ4”,Φ3”
基板用サブホルダー合計5ケ/バッチ
基板電極Φ450㎜
水冷ターンテーブル
RF電源13.56MHz
出力2.0㎾
DC電源4㎾
MFC(Ar,N2,O2,H2)
添付ファイル
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