メーカーアルバック

型式CRTM-6000

年式

外寸W240 D350 H100

展示場九州テクニカルセンター

価格242,000円(税込)

ASK管理No.O60943

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機械仕様電源：100V　50/60Hz
膜厚・レート分解能
0.04Å(5MHzクリスタル)
0.03Å(6MHzクリスタル)
膜厚表示範囲/表示分解能
0.001~999.9kÅ /1Å
蒸着速度表示範囲/表示分解能
0.1~999.9Å/s /0.1Å/s
対応センサ周波数
5MHz、6MHz
取り付け可能センサ数1
サンプリングレート125ms
多層膜数99層
デポジションプログラム数30
デジタル入力/出力
8ch固定/12chプログラマブル
アナログ出力
POWER、RATE、THKのいずれか1つ選択

添付ファイル