スパッタ装置

メーカーアルバック

型式BC4279

年式1998

外寸W1550 D1500 H2103

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.O70016

機械仕様基板サイズ:Max2インチ
基板加熱:Max500℃
基板搬送:回転360℃/上下30mm
電源:三相AC200V 50/60Hz / AC100V 50/60Hz

添付ファイル

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