スピン洗浄装置
メーカー芝浦メカトロニクス
型式SC300-S
年式2018
外寸
展示場塩山テクニカルセンター
価格3,850,000円(税込)
ASK管理No.O70378
機械仕様スピン処理モジュール外寸:W1045 D930 H2200
洗浄装置制御盤 外寸:W570 D805 H2140
供給ユニット外寸:W1195 D540 H1630
消火器ユニット1 外寸:W400 D300 H1180
消火器ユニット2 外寸:W320 D215 H980
BOX 外寸:W650 D500 H400
ウェーハサイズ:φ300mm 厚さ:30～50㎛
モータ回転数:20～1200rpm
電源:3φ AC200V 75A 50Hz
添付ファイル
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