メーカーアルバック

型式MPS-2000C1(BC4735)

年式1999

外寸W2811 D1430 H2155

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.O80060

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機械仕様カソード:φ120mmターゲット対応
基板サイズ:φ4インチ
基板加熱:Max700℃
付属ロータリーポンプ:VD301/D-330DK
TMP:TMP550-L
電源:三相AC200V　50/60Hz

添付ファイル