半導体(前工程) 成膜・めっき スパッタ装置 誘電体スパッタ装置 メーカーアルバック 型式MPS-2000C1(BC4735) 年式1999 外寸W2811 D1430 H2155 展示場塩山テクニカルセンター 価格商談中 ASK管理No.O80060 在庫確認・お問合せ 機械仕様カソード:φ120mmターゲット対応 基板サイズ:φ4インチ 基板加熱:Max700℃ 付属ロータリーポンプ:VD301/D-330DK TMP:TMP550-L 電源:三相AC200V 50/60Hz 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します