半導体(前工程) フォトリソ・塗布・表面処理 塗布現像・コーター・デベロッパー スピンコーター メーカーミカサ 型式MS-A500 年式- 外寸W800 D980 H1010 展示場塩山テクニカルセンター 価格入札会出品中 ASK管理No.O80088 在庫確認・お問合せ 機械仕様8インチ対応 回転数:50~2500rpm スピン室内径:φ700mm 入力電源:単相AC200V 50/60Hz 8A 真空ポンプ(DA-120S)付属 ポンプ真空定格:-88kPa 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します