メーカーSTS

型式MULTIPLEX ICP

年式2000年

外寸FP W4000 D3000 H2300

展示場塩山テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.O90010

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機械仕様装置構成:エッチング室/LD・ULD室/制御ラック/電源ラック/ロータリーポンプ/ドライポンプ/チラー/除害塔/モニター/ステップ台

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