エッチング装置

メーカーSTS

型式MULTIPLEX ICP

年式

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.O90010

機械仕様装置構成:エッチング室/LD・ULD室/制御ラック/電源ラック/ロータリーポンプ/ドライポンプ/チラー/除害塔/モニター/ステップ台

添付ファイル

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