パーツ関連 真空部品 RF電源 RF電源セット メーカー京三製作所 型式RFK10ZF-SN2 年式 外寸 展示場塩山テクニカルセンター 価格440,000円(税込) ASK管理No.O90401 在庫確認・お問合せ 機械仕様マッチングコントローラ:MAK5A マッチングボックス:MBK10-SN3 RF電源出力:1kW 13.56MHz 電源:三相AC200/220V 50/60Hz 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します