メーカーアネルバ

型式E-400S

年式2007

外寸W1450 D1700 H2200

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.OA0021

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機械仕様最大成膜エリア:φ200mm
基板加熱:Max300℃
ターゲット:φ4型プレーナーマグネトロンカソード4基
付属ロータリーポンプ(adixen　2033SD）
付属チラー:SMC(HRS024-A-20-BT)
電源:三相AC200V　50/60Hz　100A

添付ファイル 動作チェックシート