メーカーアルバック

型式SBH-4118D

年式

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.OA0134

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機械仕様スパッタ方式:サイドデポ
試料サイズ:φ3インチ/φ4インチ/W54 D5 H6mm治具
カソード:5ｘ18インチプレーナマグネトロンカソード
ターゲット寸法:126.8x457x5mm
構成:本体/制御部/クライオポンプ/クライオコンプレッサー/メカブ/ロータリーポンプ

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