スパッタ装置
メーカーアルバック
型式SBH-5218R
年式2011
外寸FP W3000 D2000 H2300
展示場塩山テクニカルセンター
価格5,500,000円(税込)
ASK管理No.OA0136
機械仕様スパッタ方式:サイドデポ
試料サイズ:φ3/φ4インチ/W54 D5 H6mm治具
カソード:5×18インチプレーナマグネトロンカソード
ターゲット寸法:126.8×457×5mm
構成:本体/制御部/クライオポンプ/クライオコンプレッサー
/メカブ/ロータリーポンプ
入力電源:三相AC200V 50Hz 24.8KVA
添付ファイル
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