半導体(前工程) フォトリソ・塗布・表面処理 塗布現像・コーター・デベロッパー スピンコータ― メーカーミカサ 型式1H-D3 年式 外寸W260 D330 H200 展示場塩山テクニカルセンター 価格お問合せください ASK管理No.OB0070 在庫確認・お問合せ 機械仕様スピン室内径:φ220mm 回転数:15~8000rpm 電源:AC100V 50/60Hz 処理物がφ1インチまでは、振動OK 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します