イオンスパッタ
メーカー日立
型式E101
年式
外寸
展示場塩山テクニカルセンター
価格入札会出品中
ASK管理No.OB0228
機械仕様試料台:φ80mm
付属品:ロータリー真空ポンプ(G-50DA)
入力電源:単相AC100V 50/60Hz 10A
放電方式:ダイオード放電
電極形状:リング (φ63 mm)
放電電圧:DC 2.5 kV、0.5 kV
放電電流:DC 0～30 mA
コーティングレート:
Au:最大10 nm/min
Pt/Pdターゲット:15～25 nm/min (条件により異なる)
最大試料サイズ: φ50 mm
最大試料高さ:15 mm
真空度:0.1 Torr以下
添付ファイル
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