半導体(前工程) その他 その他 プラズマリアクター メーカーヤマト科学 型式PR500 年式2018 外寸W438 D595 H760 展示場塩山テクニカルセンター 価格2,530,000円(税込) ASK管理No.OB0266 在庫確認・お問合せ 機械仕様付属品:電源コード/レギュレーター×2台/ 配管等 反応ガス:O2/CF4 処理槽寸法:φ215x305 発振周波数:13.56MHz 出力:0~500W 電源:AC100V 50/60Hz 1.5KVA 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します