半導体(前工程) 成膜・めっき 蒸着装置 蒸着装置 メーカー真空デバイス 型式VE-2030 年式2016 外寸W500 D574 H1073 展示場塩山テクニカルセンター 価格商談中 ASK管理No.OC0298 在庫確認・お問合せ 機械仕様真空槽:内径200×H270mm 下部高さ110mmは金属製、内径55mmのサービスポートを搭載 試料ステージ:直径60mm ヒーター電極:2対 4本 ヒータ電源:AC15V 50A 排気系:TMP80L/min/RP50L/min 真空度測定:フルレンジ真空計 電源:単相 AC100V 15A 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します