蒸着装置
メーカー真空デバイス
型式VE-2030
年式2016
外寸W500 D574 H1073
展示場塩山テクニカルセンター
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ASK管理No.OC0298
機械仕様真空槽:内径200×H270mm
下部高さ110mmは金属製、内径55mmのサービスポートを搭載
試料ステージ:直径60mm
ヒーター電極:2対 4本
ヒータ電源:AC15V 50A
排気系:TMP80L/min/RP50L/min
真空度測定:フルレンジ真空計
電源:単相 AC100V 15A
添付ファイル
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