メーカーキャノンアネルバ

型式E-400

年式2006

外寸W1450 D1600 H1900

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.P10330

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機械仕様成膜寸法:Maxφ200mm
ターゲット寸法:φ101mm
基板加熱:Max300℃
DC電源:2.5kWRF電源:1.2kW
電源:三相AC200V　50/60Hz　100A

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