ターボ分子ポンプ(セット)

メーカー島津製作所

型式TMP-+1003LM

年式2003

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.P10398

機械仕様コントローラ:EI-1003M
排気速度:1080L/s(atN2)
到達圧力:<1x10^-9Paオーダー
吸気径:ICF253
排気径:KF40
電源:三相AC200V 50/60Hz
水冷

添付ファイル

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