メーカーキャノンアネルバ

型式E-400S

年式2007

外寸W1500 D1700 H2450

展示場塩山テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.P20476

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機械仕様付属品:チラー(HRS050-A-20-B）/真空ポンプ(2033SD)
成膜サイズ:φ200ｍｍ
φ4型プレーナーマグネトロンカソード4基
基板加熱:Max800℃
電源:三相AC200V　50/60Hz

添付ファイル 動作チェックシート