メーカーアフティ

型式AFTEX-6000

年式1998

外寸W2800 D1400 H1900

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.P20477

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機械仕様付属品:チラー(HRS050-A-20-B）/真空ポンプ(アネスト岩田スクロールｘ2台)
成膜サイズ:3インチ
ECRスパッタ源2基＋マグネトロンスパッタ源1基
基板加熱:Max400℃
電源:三相AC200V　50/60Hz

添付ファイル