個体ソースECRプラズマ成膜装置

メーカーアフティ

型式AFTEX6000

年式1998

外寸W2800 D1400 H1900

展示場塩山テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.P20477

機械仕様成膜サイズ:3インチ
ECRスパッタ源2基+マグネトロンスパッタ源1基
基板加熱:Max400℃
電源:三相AC200V 50/60Hz

添付ファイル

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