個体ソースECRプラズマ成膜装置
メーカーアフティ
型式AFTEX6000
年式1998
外寸W2800 D1400 H1900
展示場塩山テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.P20477
機械仕様成膜サイズ:3インチ
ECRスパッタ源2基+マグネトロンスパッタ源1基
基板加熱:Max400℃
電源:三相AC200V 50/60Hz
添付ファイル
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型式AFTEX6000
年式1998
外寸W2800 D1400 H1900
展示場塩山テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.P20477
機械仕様成膜サイズ:3インチ
ECRスパッタ源2基+マグネトロンスパッタ源1基
基板加熱:Max400℃
電源:三相AC200V 50/60Hz
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