メーカーキヤノンマシナリー

型式CAP-350

年式2005

外寸W1700 D1300 H1900

展示場九州テクニカルセンター

価格1,815,000円(税込)

ASK管理No.P30755

在庫確認・お問合せ

機械仕様電源：φ1　200V　60Hz
エアー：0.4MPa
N2：0.2MPa
バキューム：66.7kPa
ウェハサイズ：Φ200㎜対応

添付ファイル