半導体(前工程) フォトリソ・塗布・表面処理 塗布現像・コーター・デベロッパー スピンコーター メーカーミカサ 型式MS‐100 年式 外寸W265 D340 H250 展示場九州テクニカルセンター 価格385,000円(税込) ASK管理No.P31023 在庫確認・お問合せ 機械仕様使用電源:1相100V 50/60Hz 5A 資材サイズ:最大100㎜Φ 回転数:0又は50‐7500r.p.m 回転時間:最大999.9秒 回転制御:プログラム方式 最大100ステップ・10パターン入力可 回転立ち上がり時間:0.4秒 ※ポンプ(DA-60)付属 ※2インチ用試料台付属 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します