メーカーコベルコ科研

型式SEP-1401

年式2011

外寸W1200D900H1360

展示場九州テクニカルセンター

価格550,000円(税込)

ASK管理No.P31032

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機械仕様適応ウエハ(SiC)：丸形ウエハφ50.8/76.2/100/125/150mm
角型ウエハ一辺19～100mm
厚み300≦t≦1000μm
面取り幅1200μm以下
測定時間：8秒以下/エッジ
電源：1相100V 50/60Hz
※SUS作業台付属

添付ファイル 動作チェックシート