メーカー東京応化

型式CSH8231D

年式

外寸W1800 D1800 H1950

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.P31051

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機械仕様適用ウエハ 6インチ/厚み 625±25µm
材質 Si
現像液 PMER現像液 P-7G・NMD-3
ユニット 2式　ベークプレート 3式
温度設定範囲 50～200℃
3φ200V 60A

添付ファイル