原子層蒸着(ALD)用バルブ

メーカースウェージロック

型式6LVV-MSM-ALD3T-2-P-CSLV

年式

外寸

展示場九州テクニカルセンター

価格27,500円(税込)

ASK管理No.P31054

機械仕様使用圧力範囲:真空~1.00 MPa
破裂時:>22.0 MPa
作動圧力範囲:0.35~0.62 MPa
使用温度範囲:0°~200°C
流量係数(Cv値):0.27または0.62
ボディ材質:316L VIM-VARステンレス鋼
ダイヤフラム材質:コバルト基超合金
在庫数:14個

添付ファイル

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