メーカーキヤノンアネルバ

型式E-800S

年式2007

外寸W3500 D2650 H2710

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.P31105

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機械仕様スパッタアップ　カソード6インチ 6基
基板加熱 300℃
上下機構 ストローク 約100mm
電極間距離 70～170mm
3φ200V 125A 50/60Hz

添付ファイル