メーカーサムコ

型式PD-270STP

年式2004

外寸W1370 D1800 H2000

展示場九州テクニカルセンター

価格お問合せください

ASK管理No.P31106

在庫確認・お問合せ

機械仕様適用基板サイズ 最大4インチ3枚処理
ウエハ-トレイ(石英製)φ3X3
加熱機構
上部電極 Max400℃
下部電極 Max500℃
高周波電源 13.56MHz Max1KW
使用ガス種 C2F6 O2 Ar
原材料 TEOS
3φ200V 50Hz

添付ファイル