メーカーサムコ

型式PD-270STL

年式2007

外寸W1250 D2750 H2080

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.P31107

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機械仕様適用基板サイズ 最大3インチ1枚処理
反応室 内径φ425mm
上部電極 φ280mm
下部電極 φ276mm
高周波電源 13.56MHz Max1KW
使用ガス種 C2F6 O2 Ar
原材料 TEOS
3φ200V 50Hz

添付ファイル