エッチング装置
メーカーサムコ
型式RIE-230iPC-AT
年式2023
外寸(本体)W1210 D2100 H2100
展示場九州テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.P31176
機械仕様【電源】φ3 200V 50Hz 75A 【高周波電源】13.56MHz ICP側500W BIAS側300W 【クランプ】静電吸着方式/4inch
【ガス種】Ci2／50ccm Ar／100ccm BCl3／50ccm O2／100ccm 【排気系】ターボポンプ(330L/s)TG350FVAB／大阪真空 ドライポンプ(1500/s)SDE120TXV／樫山工業x2 【除害装置】チャンバークリーニング・ユニット:RID-ACE/宇部興産 【低温恒温水循環装置】NCC-3100/東京理化器械
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