メーカーサムコ

型式RIE-230iPC-AT

年式2023

外寸(本体)W1210 D2100 H2100

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.P31176

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機械仕様・電源：φ3 200V 50Hz 75A
・高周波電源：13.56MHz　　
ICP側500W　BIAS側300W
・クランプ：静電吸着方式/4inch
・ガス種：Ci2／50ccm　Ar／100ccm
　　　　　BCl3／50ccm　O2／100ccm
・排気系：ターボポンプ(330L/s)TG350FVAB／大阪真空
　　　　　ドライポンプ(1500/s)SDE120TXV／樫山工業x2
・除害装置：チャンバークリーニング・ユニット:RID-ACE/宇部興産
・低温恒温水循環装置：NCC-3100/東京理化器械

添付ファイル