エッチング装置
メーカーサムコ
型式RIE-300NR
年式2007
外寸W850 D2050 H2100（本体）
展示場九州テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.P31177
機械仕様電源：φ３ ２００V 50/60Hz ５０A
高周波電源：13.56MHz 1kw
石英トレー：3inch×9枚（1バッチ） 4inch×6枚（1バッチ）
ガス種：O2／500ccm Ar／200ccm CF4／200ccm
N2ｶﾞｽ：0.1MPa 1/4inch SWL
エアー：0.5MPa 1/4inch SWL
排気系：ターボポンプ(1000L/s) 島津製作所
ドライポンプ(1300/s) 樫山工業
添付ファイル
※ 以下の画像をクリックをすると拡大します
