パーツ関連 真空部品 RF電源 RF電源 メーカー京三製作所 型式RFK10ZF-AN3 年式2006 外寸W480 D490 H175 展示場塩山テクニカルセンター 価格330,000円(税込) ASK管理No.P40235 在庫確認・お問合せ 機械仕様出力:1kW 13.56MHz 電源:三相AC200/220V 50/60Hz 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します