パーツ関連 真空部品 RF電源 RF電源 メーカーアネルバ 型式PRF-246C 年式 外寸W480 D620 H300 展示場塩山テクニカルセンター 価格495,000円(税込) ASK管理No.P50171 在庫確認・お問合せ 機械仕様出力:2.4kW 13.56MHz 電源:三相AC200V 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します