パーツ関連 真空部品 RF電源 RF電源 メーカーアネルバ 型式PRF-065B 年式 外寸W480 D610 H250 展示場塩山テクニカルセンター 価格440,000円(税込) ASK管理No.P50172 在庫確認・お問合せ 機械仕様出力:600W 13.56MHz 電源:単相AC200V 50/60Hz 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します