スパッタ装置（ECR)

メーカーアフティ

型式N7000

年式2008

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.P60037

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機械仕様基板サイズ:Maxφ200mm
処理枚数:Max6枚(基板収納数）
基板加熱:Max300℃

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