スパッタ装置（RF)

メーカーアネルバ

型式E-7740FHL

年式2006

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.P60038

機械仕様基板ホルダーサイズ:φ510mm
処理枚数:専用トレイを1枚収納
基板加熱:Max300℃(SP室）/Max200℃(LL室）
電源:三相AC200V　50/60Hz 150A

添付ファイル

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