スパッタ装置（ECR)

メーカーアフティ

型式AFTEXEC-6200

年式2007

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.P60039

在庫確認・お問合せ

機械仕様ECRスパッタ源2基
基板搬送用トレイサイズ:φ3インチウェハー5枚
基板加熱:Max400℃
電源:三相AC200V　50/60Hz　26kVA

添付ファイル

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